電液伺服閥是電液伺服控制系統(tǒng)中的重要控制元件，在系統(tǒng)中起電液轉(zhuǎn)換和功率放大作用。具體地說，系統(tǒng)工作時它直接接收系統(tǒng)傳遞來的電信號，并把電信號轉(zhuǎn)換成具有相應極性的、成比例的、能夠控制電液伺服閥的負載流量或負載壓力的信號，從而使系統(tǒng)輸出較大的液壓功率，用以驅(qū)動相應的執(zhí)行機構(gòu)。電液伺服閥的性能和可靠性將直接影響系統(tǒng)的性能和可靠性，是電液伺服控制系統(tǒng)中引人注目的關(guān)鍵元件。

由于系統(tǒng)服務對象和使用環(huán)境各式各樣，相應地為系統(tǒng)服務的電液伺服閥型號、結(jié)構(gòu)、性能也多種多樣。它們有個性，也有共性。本章將對常見電液伺服閥的結(jié)構(gòu)原理、組成、分類及有關(guān)特點作簡要介紹。

電液伺服閥組成

電液伺服閥本身是一個閉環(huán)控制系統(tǒng)，一般由下列部分組成：

（1）電－機轉(zhuǎn)換部分；

（2）機－液轉(zhuǎn)換和功率放大部分；

（3）反饋部分；

（4）電控器部分。

大部分伺服閥僅由前三部分組成，只有電反饋伺服閥才含有電控器部分。

電－機轉(zhuǎn)換部分

電－機轉(zhuǎn)換部分的工作原理是把輸入電信號的電能通過特定設計的元件轉(zhuǎn)換成機械運動的機械能，由此機械能進而驅(qū)動液壓放大器的控制元件，使之轉(zhuǎn)換成液壓能。將電能轉(zhuǎn)換為機械能的元件，人們通常稱為力矩馬達（輸出為轉(zhuǎn)角）或力馬達（輸出為位移）。力矩馬達和力馬達有動鐵式和動圈式兩種結(jié)構(gòu)。常用的典型結(jié)構(gòu)示于圖1.1中。

圖1.1（a）為永磁橋式動鐵式力矩馬達。它結(jié)構(gòu)緊湊體積小，固有頻率高；但是輸出轉(zhuǎn)角線性范圍窄；適用于驅(qū)動噴嘴擋板液壓放大器的擋板，射流管液壓放大器的射流管或偏轉(zhuǎn)射流管的偏轉(zhuǎn)板。

圖1.1（b）為高能永磁動鐵式直線力馬達。它體積大，加工工藝性好；驅(qū)動力大、行程較大；固有頻率較低，約≤300Hz，適用于直接驅(qū)動功率級滑閥。

圖1.1（c）為永磁動圈式力馬達，它又有內(nèi)磁型和外磁型兩種結(jié)構(gòu)形式。圖1.1（d）為激磁動圈式力馬達。它們的共同特點是體積大、加工工藝性好；但是同樣的體積下輸出力??；機械支撐彈簧的剛度通常不是很大，在同樣的慣性下，動圈組件固有頻率低；為提高固有頻率，可增加支撐剛度及激磁和控制線圈功率，但尺寸大，功耗大。此型力馬達的磁環(huán)??；線性范圍寬，輸出位移大；適用于直接驅(qū)動滑閥液壓放大器的閥芯運動。